µPhase®
Interferometer zur Messung der Oberflächen- und Wellenfrontdeformation
Hochflexibel
Universell
Zuverlässig
Produkte
µPhase® Interferometer sind sehr kompakt gebaute, kleine und leichte digitale Geräte, die sich in nahezu jeder Arbeitsumgebung verwenden lassen. Unterstützt durch die Software µShape lassen sich umfangreiche Messauswertungen vornehmen. Die Grundlage der Interferometriemessung bei TRIOPTICS bietet der µPhase®-Sensor. Dieser ist, entsprechend den unterschiedlichen Messaufgaben, modular mit verschiedenen Messdurchmessern und Stativen konfigurierbar. Ebenso können kundenspezifische Lösungen kostengünstig angeboten werden.
µPhase® 3.1/3.2/3.3.
Hoch flexibel
Der Twyman-Green-Interferometer-Sensor µPhase® ist mit identischer Bauformen für unterschiedliche Auflösungen erhältlich und kann in Ihrem Messaufbau integriert werden.
- Möglichkeit der Fokussierung und der Anpassung der Oberflächenreflektivität (nur µPhase® 3.3)
- Integration in Fertigungsmaschinen und Produktionslinien problemlos möglich
µPhase® VERTICAL 3
Vielseitig
Hochflexibles und voll ausgestattetes Interferometersystem für Fertigung, Werkstatt und Labor.
- Motorisierte vertikale Z-Achse
- Einzigartiges Design für alle Arten von Reflexions- und Transmissionsmessungen
- Integrierte automatische Radienmessung
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- Kompakte Bauweise mit vertikalem Messaufbau für geringen Platzbedarf
- Optimale Prüflingsausrichtung durch integrierten Kipp- sowie X-Y-Verschiebetisch
- Modulare Bauweise zur Optimierung an die Messbedürfnisse
- Optional: Verwendung eines Tray-Halters und eines motorisierten X-Y-Schlittens zur automatischen Form- und Radienmessung vieler Prüflinge in nur einem Durchgang
µPhase® VERTICAL PRO
Automatisierung
Mit seinem Tray kann das µPhase® VERTICAL PRO 20 bis 30 Prüflinge automatisiert vermessen.
- Messung von sphärischen, torischen und asphärischen Linsen sowie Prüflingen aus Glas, Kunststoff oder Metall
- Höchste Genauigkeit bei Radien von bis zu 50 mm
- Frei konfigurierbarer und schnell wechselbarer Prüflingshalter
µPhase® PLANO DOWN
Kompakter Aufbau
µPhase® PLANO DOWN eignet sich mit seinem kompakten Aufbau für die Messung planer Komponenten in Forschung und Entwicklung sowie in der Produktion.
- Messbereich für Durchmesser bis zu 150 mm
- Prüflinge werden auf der Granitplatte platziert und von oben gemessen
- In der Regel keine Schwingungsisolierung erforderlich, da das Gerät eine massive Granitbasis aufweist
- Kompakte Bauweise und geringer Platzbedarf
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- Einfache Handhabung durch höhenverstellbare Säulen
- Kann dank intuitiver und einfacher Handhabung auch durch ungeschultes Personal bedient werden
µPhase® PLANO UP
Planlinsen in der Produktion
Für die kosteneffektive Qualitätskontrolle von optischen Planflächen in der Produktion ist das µPhase® PLANO UP die perfekte Wahl.
- Messbereich für Durchmesser bis zu 100 mm
- Kompakte Bauweise für geringen Platzbedarf zur Platzierung direkt neben der Produktionsmaschine
- Prüflinge werden auf der Oberseite des Geräts auf einer Ringschneide oder Dreipunktauflage positioniert und von unten gemessen
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- Vibrationsunempfindlich
- Bei Serienmessungen ist keine zwischenzeitliche Neuausrichtung erforderlich
- Kann dank intuitiver und einfacher Handhabung auch durch ungeschultes Personal bedient werden
µPhase® SPHERO UP
Sphären in der Produktion
Sphärischer Oberflächen lassen sich in der Produktion schnell und kosteneffektiv mit dem µPhase® SPHERO UP kontrollieren.
- Messbereich für Durchmesser bis zu 50 mm
- Kompakte Bauweise für geringen Platzbedarf zur Platzierung direkt neben der Produktionsmaschine
- Prüflinge werden auf der Oberseite des Geräts auf einer Ringschneide oder Dreipunktauflage positioniert und von unten gemessen
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- Vibrationsunempfindlich
- Bei Serienmessungen ist keine zwischenzeitliche Neuausrichtung erforderlich
- Kann dank intuitiver und einfacher Handhabung auch durch ungeschultes Personal bedient werden
µPhase® ST/ST+R
Flexibel und kosteneffektiv
Das µPhase® ST/ST+R kann in Forschung und Entwicklung sowie in der Produktion flexible und kosteneffektiv eingesetzt werden.
- Messungen von planen und sphärischen Prüflingen
- Tischaufbau in kompakter Bauweise mit vertikalem Messaufbau für geringen Platzbedarf
- Optimale Prüflingsausrichtung durch integrierten Kipp- sowie X-Y-Verschiebetisch
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- Vertikale Achse mit Grob- und Feinverstellung für hochpräzise Justage
- Optional: digitale Messeinheit zur Radiusmessung
µPhase® UNIVERSAL
Höchste Variabilität
Der universelle Aufbau und die modularen Vorrichtungen des µPhase® UNIVERSAL bieten höchste Variabilität für Forschung und Entwicklung.
- 2-, 4- oder 6-Zoll-Messsystem zur Prüfung planer und sphärischer Oberflächen
- Horizontaler Aufbau für Messungen langer Radien
- Kompatibel mit anderen handelsüblichen 4-Zoll-Objektiven
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- Optionaler CGH-Halter für die Messung von Asphären, Zylindern oder torischen Oberflächen
- MTF- und Homogenitätsmessungen auf Anfrage
µPhase® Customized Solutions
Kundenspezifische Lösungen
Das µPhase® ist aufgrund seines modularen Aufbaus und des kompakten Designs ein äußerst vielseitiges Interferometer – auch für besondere Anforderungen.
- Kundenspezifische Lösungen für besondere Anwendungsbereiche auf Basis von Standardkomponenten
- Entwicklung zusätzlicher maßgeschneiderter Komponenten und Software-Module
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Software
µShape
Interferometer Software
Mit der Software µShape in der aktuellen Version 8 ist das µPhase® optimal für den Einsatz sowohl in der Produktion als auch in Forschung und Entwicklung gerüstet. Die Software steuert die Messung, stellt umfangreiche Analysemöglichkeiten zur Verfügung und bietet eine vollständige Dokumentation. Messvorlagen bieten maximale Transparenz über den Messprozess und erlauben ein schnelles Erfassen der Prüfergebnisse.
Die klar strukturierte, menü-basierte Benutzeroberfläche von µShape wird dabei immer dem umfassenden Einsatz des µPhase® gerecht und lässt sich über die verfügbaren Module in unterschiedlichster Weise erweitern. Diese Module können jederzeit, auch noch nach Kauf des µPhase®-Systems, ergänzt werden.
Die µShape Software ist primär für den Betrieb des µPhase® entwickelt worden, kann aber auch zum Betrieb von Labor- und Werkstattinterferometern anderer Anbieter genutzt werden. Die Entwicklung von kundenspezifischen Funktionen ist möglich.
Features
- Mehrere Zugangslevel bieten benutzerspezifische Zugriffsmöglichkeiten, vom Administrator bis zum Anwender in der Produktion
- Umfassende, kontextspezifische Direkt-Hilfe
- Einfache Bedienung und Verringerung des Schulungsbedarfs der Nutzer durch leicht vorkonfigurierbare Vorlagen für jede Art von Messaufgabe und Auswertung
- Komfortable Reanalyse-Option gespeicherter Messungen ohne Neumessung
- Einfache Speicherung von Grafiken in verschiedenen Grafikformaten (bmp, jpg, etc.)
- Schneller Daten-Export einzelner Parameter oder ausgewählter Datenfelder als Textdatei, Binärdatei oder anderen gebräuchlichen Dateiformaten (z. B. QED, Zygo XYZ, DigitalSurf, INT) zur externen Verarbeitung
- MetroPro-kompatibles Dateiformat, erweitert um Beispielparameter aus der Aufgabenbeschreibung
- Ein zusätzlicher 2-dimensionaler polynomischer Fit als Anpassungs-Fit
- Das Messprotokoll bietet eine übersichtliche Gesamtdarstellung der Ergebnisse und lässt sich vielseitig konfigurieren, inkl. Kunden-Logo
- Übersichtliche Aufbereitung der Programm-Modi durch die separate Visualisierung von Kalibrier- und Messprozessen
- Umfassende Darstellung der Messparameter als Messwert, in grafischen 2D- bzw. 3D- und freiwählbaren Schnitt-Grafiken (1D) einschließlich des integrierten Live-Kamerabildes
- Schnelle Messung von sich wiederholenden Teilen durch Speicherung sämtlicher Parameter und Einstellungen, einschließlich Fenstergröße und ‑position, mit Muster-Daten in einer µShape™-Programmdatei
- Flexible und benutzerdefinierte Bildschirmanzeige, die sich an jeder Monitorgröße anpasst
- Live-Bild: Anzeige auf dem 2. Bildschirm als zusätzliches Fenster
- Immer auf dem aktuellen Stand der Technik durch kontinuierliche Weiterentwicklung mit regelmäßigen Updates – auf Anfrage oder als Software-Flatrate
- Vollständig kompatibel mit Windows 10 (64-Bit- und 32-Bit-Systeme)
Funktionen
„Aspheres“: Asphärenanalyse in sphärischen bzw. CGH-Setups
- Das Asphären-Modul ermöglicht die Auswertung starker Asphären in einem asphärischen Setup mithilfe eines computergenerierten Hologramms (CGH) sowie schwacher Asphären in sphärischen Setups. Die Beschreibung der Asphäre kann eingegeben und gespeichert werden. Dabei werden verschiedene Formate (rotationssymmetrisch) unterstützt. Verbleibende Justierfehler sowie systematische Setup-Fehler werden durch eine asphärischen Justagefit kompensiert.
„Cylinder“: Zylinderanalyse
- Das Zylinder-Modul analysiert zylindrische Prüflinge in einem zylindrischen Setup (mit CGH). Verbleibende Justagefehler werden durch einen zylindrischen Justagefit entfernt.
„Extern Interface“: Externe Kommunikationsschnittstelle
- Das externe Schnittstellen-Modul ermöglicht die Kommunikation zwischen µShape™ und externer Software wie LabVIEW™ zur Steuerung des Interferometers durch externe Programme, z. B. innerhalb eines automatisierten Systems.
„FastFringe“: Statische Streifenanalyse
- Dieses Modul ermöglicht die Auswertung eines einzelnen Interferogramms für Messungen in instabilen Umgebungen oder mit Interferometern ohne Phasenschiebeeinheit.
„Fiber connector“: Glasfaserstecker-Analyse
- Die Glasfaserstecker-Erweiterung ermöglicht die Auswertung der Endflächen von Glasfaser-Anschlüssen des Typs PC (Physical Contact = Körperkontakt) gemäß internationaler IEC-Konvention. Die Hauptparameter werden mit nur einer Messung erhoben und optional mit Gut/Schlecht-Auswertung angezeigt.
„Homogeneity“: Messung der Homogenität transparenter Prüflinge
- In einem separaten Programmmodus können beide den optischen Weg durch den Prüfling beeinflussenden Aspekte, d. h. die Homogenität (Variation des Brechungsindexes) einerseits und die Dickenvariation anderseits, bestimmt werden.
„Math Mode“: Mathematikmode
- Dieser Programm-Modus erlaubt es, unterschiedliche Datenzuordnungen in Kombination mit mathematischen Berechnungen zu einer zusätzlichen Ergebniszuordnung auszuwerten. Matrix-Berechnungen sind nicht möglich.
„Multiple apertures“: Analyse mehrerer-Teilflächen in einer Messung
- Dieses Modul ermöglicht die gemeinsame Messung und Analyse von nicht miteinander verbundenen Einzelaperturen innerhalb eines Sichtfelds, z. B. für die Messung von Prüflingen auf Polierköpfen. Die Messbarkeit mehrerer Einzelaperturen ermöglicht auch eine Keilwinkel-Analyse. Mit diese Analyse können der Keilwinkel planer Spiegel sowie der optische Keil planer Übertragungsplatten in einem Arbeitsschritt bestimmt werden.
„Multiple statistics“: Identische Statistik-Analyse auf mehreren Teil-Aperturen
- Sind in der Prüflingsspezifikation unterschiedliche Werte für verschiedene Teilbereiche desselben Prüflings definiert worden, ermöglicht das MultiStat-Modul die identische Auswertung aller Bereiche innerhalb einer einzigen Messung. Die Ergebnisse für die einzelnen Bereiche werden separat ausgegeben.
„MTF/PSF“: MTF-Analyse
- Im Bereich der Optik wird die MTF verwendet, um die Qualität optischer Systeme zu beschreiben. Das Modul ermöglicht die Bestimmung der MTF fokaler bzw. afokaler optischer Bauteile und Systeme.
„Prisms“: Prismen-Analyse
- Winkelfehler an 90°- und Tripelprismen können interferometrisch gemessen werden, indem die durch Winkelabweichung an 90°- bzw. 0°-Zielwinkeln beobachteten Interferenzmuster ausgewertet werden.
„Roughness/PSD”: Analyse von Rauheit und PSD
- Mithilfe dieses Moduls können sowohl die Power Spectral Density (PSD) als auch Rauhheitsparameter auf frei definierbaren geraden Schnitten bestimmt werden.
„Sample Normal Data“: Berücksichtigung bekannter Prüflingsabweichungen
- Die Verwendung von Prüflingsdaten (Sample Normal Data – SND) ermöglicht es, zusätzliche Fehler des Prüflings während der Prüfung zu berücksichtigen, z. B. Abweichungen aufgrund der optischen Konstruktion (konstruktionsbedingte Nennwerte).
Upgrades
- Upgrade des µPhase® Sensors von µPhase® 3.1 auf µPhase® 3.3 für eine Erhöhung der Kameraauflösung von 608 x 608 Pixel auf 1216 x 1216 Pixel
- Horizontal- oder Vertikal-Stative
Die µPhase®-Grundgeräte und die Planobjektive verfügen über einen Bajonettanschluss, der einen schnellen und leichten Wechsel zwischen verschiedenen Systemaufbauten ermöglicht. - Plane und sphärische Kalibrierflächen in verschiedenen Durchmessern: unbeschichtet oder verspiegelt
- Lizenz für die Offlineanalyse und Dokumentation an Büroarbeitsplätzen ohne direkten Zugriff auf die µPhase®-Hardware
µPhase® 3 XL mit verschiedenen Wellenlängen
Das bewährte und hoch integrierte phasenschiebende Interferometer µPhase® 3 XL ist für den Gebrauch mit verschiedenen Wellenlängen modifizierbar:
- unterstützt blaue, grüne und infrarote Lichtquellen
- derzeit 405, 532 und 1064nm, andere Wellenlängen auf Anfrage
- Standard Version von 633nm
- Reflektionsanpassung und Fokussierbarkeit in der Objektebene für alle Wellenlängen
- gleiche mechanische Abmessungen und Schnittstellen des Sensors für alle Wellenlängen
- µLens SPHERO 10 f/0,7
- µLens SPHERO 10 f/1
- µLens SPHERO 10 f/1,5
- µLens SPHERO 10 f/3
- µLens SPHERO 10 f/5,2
- µLens SPHERO 50 f/0,7
- µLens SPHERO 50 f/1
- µLens SPHERO 50 f/1,5
- µLens SPHERO 50 f/2,4
- µLens SPHERO 50 f/4,1
Partnerschaft mit InterOptics
OptoFlat
Spezialist für Planoptiken
Das Kurzkohärenzinterferometer OptoFlat ist spezialisiert auf die Messung von planen Optiken.
- Ein für die Produktion sowie für die Forschung geeignetes Interferometer für plane Flächen mit Sub-Nanometer-Präzision
- LED-Beleuchtungssystem minimiert kohärente Artefakte
- Berührungsloser, gestengesteuerter Sensor startet die Messung ohne Tastatureingaben
µPhase® Produktanfrage
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