WaveSensor® & WaveMaster®

Shack-Hartmann Wellenfrontsensoren

Um die Umsetzung aufwendiger optischer Designs nach der Herstellung sicher stellen zu können, muss eine qualifizierte Messtechnik genutzt werden. Hierzu eignet sich insbesondere die Wellenfrontprüfung, die die Abbildungsqualität ortsaufgelöst, das heißt über alle Feldwinkel, und über die gesamte Prüflingsapertur bestimmt. Damit ergibt sich, anders als bei der klassischen MTF-Prüfung, nicht nur ein punktuelles Maß für die Qualität, sondern ein kontinuierlicher Abgleich über die gesamte Apertur.

Hohe Flexibilität

Mit einer maximalen Dynamik von bis zu 2000 λ erlauben WaveSensor und WaveMaster® eine hohe Flexibilität bezüglich des zu messenden Linsendesigns.

Wiederholbar hohe Präzision

Neben einer Messgenauigkeit von bis zu λ/20 (RMS) kann durch die kompakte, robuste und vibrationsunempfindliche Bauweise auch eine hohe Wiederholbarkeit von λ/200 (RMS) erreicht werden.

Sofortige Auswertung

In Echtzeit werden die Ergebnisse der gemessenen Wellenfrontdaten mit denen der Musterlinsen oder den Designwerten abgeglichen und beurteilt.

Produkte

In Echtzeit analysieren Shack-Hartmann Sensoren gesamte Optiken oder einzelne Oberflächen und erlauben die Bestimmung der Wellenfront (PV, RMS), der Zernike-Koeffizienten, der Punktbildfunktion (PSF), der Modulationsübertragungsfunktion (MTF), des Strehl-Verhältnisses, des Krümmungsradius und des Asphärenkoeffizienten. Damit ermöglichen sie nicht nur Rückschlüsse zur Qualitätskontrolle einzelner Linse, sondern auch über den Produktionsprozess.

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WaveSensor stellt die Grundlage der Wellenfrontmessung und -analyse von sphärischen, asphärischen, frei geformten und planen Einzeloptiken und Linsensystemen bei TRIOPTICS dar. Hierbei handelt es sich um einen Shack-Hartmann-Sensor, der sowohl einzeln als auch integriert in kompletten Messsystemen zum Einsatz kommt.

Durch ihre einfache Handhabung und Flexibilität sind die Messsysteme der WaveMaster® Compact Serie sowie der WaveMaster® Plan mit ihren vielen Freiheitsgraden optimiert für den Einsatz in Forschung und Entwicklung sowie die stichprobenartige Qualitätskontrolle von Einzellinsen. Analysen erfolgen dabei über die Oberfläche und/oder die gesamte Optik.

Mit dem WaveMaster® PRO 2 bittet TRIOPTICS ein Messsystem, das für den Einsatz in der Produktion optimiert ist und die Messung in Chargen ermöglicht. Für Anwendung, bei denen die reine axiale Wellenfrontprüfung nicht mehr ausreicht, da hohe Feldwinkel unbeachtet bleiben, bieten der WaveMaster® Field und der WaveMaster® UST Lösungen.

WaveMaster® PRO 2 / PRO 2 Wafer / PRO 2 PLAN

WaveMaster® PRO 2 / PRO 2 Wafer / PRO 2 PLAN

Serienprüfung von Optiken und Wafern

WaveMaster® PRO 2 erlaubt die Serienprüfung von Optiken und optischen Wafern.

  • Vollautomatisierte Messung einer großen Anzahl von Prüflingen (Wafer oder beladene Trays)
  • Messzeit von unter 3 Sekunden pro Optik und Messschritt sorgt für einen hohen Probendurchsatz
  • Hohe Wiederholgenauigkeit

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  • Benutzerdefinierte Ausschuss-Kriterien für eine anwendungsorientierte Qualitätskontrolle im Vergleich zu Design-Daten oder Musterprüflingen
  • Hohe Transparenz der Messergebnisse durch den Export der Messdaten jeder einzelnen Linse ermöglicht eine optimale Produktionssteuerung in Hinblick auf Materialdefekte und Produktionsfehler
WaveMaster® Field

WaveMaster® Field

Außeraxiale Wellenfrontprüfung

Der WaveMaster® Field ist auf die Prüfung von Einzellinsen und Objektiven unter hohen Feldwinkeln ausgelegt.

  • Universelle Wellenfrontprüfung unter Feldwinkeln von bis zu 60°
  • Flexible und einfache Einstellung individueller Einfallswinkel und Wellenlängen
  • Variable Prüflingsaufnahme erlaubt die Anpassung an unterschiedliche Prüflinge – ideal für F&E

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  • Prüflingscharakterisierung mittels folgender Linsenparameter: EFL, MTF, Verzeichnung, Zernike-Analyse

Software

WaveSensor oder WaveMaster® Software

Die Software ist übersichtlich strukturiert, bedienerfreundlich und enthält alle Funktionen, um mit einem WaveSensor® oder WaveMaster® sphärische und asphärische Prüflinge zu messen und zu analysieren. Mit ihrer flexiblen Konfigurierbarkeit, werden alle wichtigen Messergebnisse angezeigt.

Die Software kommuniziert mit dem Shack-Hartmann-Sensor und analysiert die gemessene Wellenfront in Echtzeit. Zusätzlich steuert sie die WaveMaster® Messsysteme, um z. B. Prüflinge auszurichten.

  • Übersichtliche, menügesteuerte und konfigurierbare Bedienerführung
  • Einfache und intuitive Messung und Analyse von Wellenfronten der gesamten Optik oder an Oberflächen in Echtzeit
  • Eine Software für alles: Datenerfassung, Datenberechnung, Kalibrierung und Anzeige der Daten
  • Absoluter und relativer Messmodus für den instantanen Vergleich mit den theoretischen Designdaten aus ZEMAX und Code V oder mit einer Referenzlinse
  • Komplette Dokumentation durch die Ausgabe von Messzertifikaten
  • Übersichtliche Darstellung in einstellbaren Mess- und Analysebereich von
    • 2D-Wellenfront
    • PV und RMS
    • Intensität
    • Kamerabild
  • Vollständige Darstellung der Oberflächentopographie durch mehrere Parametrisierungen:
    • Asphärengleichung
    • Zernike-Polynome
    • Konische Gleichung
    • Sphärische Gleichung
    • Freiformfläche
WaveMaster® Software

Upgrades

Alle WaveMaster®-Systeme zeichnen sich durch einen flexiblen Aufbau aus, so dass sie an die speziellen Anforderungen Ihrer Anwendung angepasst werden können.

Die vollständige Analyse wird durch eine individuelle Anpassung an den Prüfling möglich. Kinematische Halterungen erlauben so u. A. den einfachen Austausch von Lichtquellen und Teleskopen:

  • Lichtquellen unterschiedlicher Wellenlänge und numerischer Apertur
  • Teleskope zur Erreichung der optimalen Vergrößerung zwischen Prüfling und Sensor
  • Optiken für Oberflächen mit verschiedenen Krümmungsradien
  • Prüflingshalter und Trays
  • Referenzprüfling

Die Softwarefunktionalität wird durch spezifische Module bezüglich der Messaufgabe optimiert:

ZERNIKE-Analyse-Modul

  • Zernike-Fit und Analyse der Wellenfront in Echtzeit
  • Numerische und grafische Anzeige der Fit-Ergebnisse und Residuen
  • Import von Wellenfront-Designdaten aus ZEMAX und CODE V für Echtzeit-Vergleiche
  • Export von Wellenfront-Daten und des Analyse-Ergebnissen in ASCII- und ZEMAX-Format

MTF/PSF-Analyse-Modul

  • Echtzeit-Berechnung und -Anzeige der 3D-MTF- und PSF-Daten
  • Tabelle mit MTF-Messergebnissen
  • Exportfunktion für Messergebnisse
  • Berechnung des Strehlverhältnis

  • Erweiterung des Messbereichs
  • Upgrade für torische Linsen (automatische Markererkennung, vereinfachte MTF-Messung, visuelle Begutachtung)
  • Upgrade für 546 nm
  • Linsenhalter mit verschiedenen Aperturgrößen
  • Modellauge, optional beheizbar

WaveMaster® PRO 2

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